아주 얇은 막의 두께를 동시에 여러지점 측정할 수 있는 기술이 처음 개발됐다. 대덕밸리내 벤처기업 케이맥(대표 이중환.www.kmac.to)은 미세영역의 두께를 측정,2차원 평면 두께지도를 제작할 수 있는 시스템을 세계 최초로 개발했다. 이 측정 시스템은 기존의 광간섭식 박막두께측정기에서 받아들인 이미지를 다시 미세영역으로 분할해 동시에 여러 지점을 측정하도록 고안됐다. 광간섭식 박막두께측정기도 이 회사에서 개발한 얇은 막의 두께를 측정하는 장치. 2가지 이상 겹쳐진 막에 빛을 조사했을 때 막의 표면에서 반사되는 빛과 통과되는 빛 사이의 굴절률과 파장 등의 차이를 계산해 두께를 측정한다. 미세영역 두께지도 측정 시스템은 미세영역의 측정 한계를 10배 이상 향상시켰을 뿐만 아니라 한번의 측정으로 일정영역 내 여러 지점의 두께를 확인할 수 있는 획기적인 장치로 평가받고 있다. 또 측정할 대상을 움직이지 않고도 표면의 전체적인 2차원 지도를 작성할 수 있어 측정 시간을 대폭 단축할 수 있다는 것도 이 시스템의 장점이다. 회사측은 이번 시스템의 개발로 갈수록 미세한 기술을 필요로 하고 있는 반도체 및 TFT-LCD 생산 공정에 큰 기여를 할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 이밖에도 이 회사는 국내에서 유일하게 초소형 광섬유식 분광기,흐름주입분석기 등과 함께 박막의 두께를 광학적인 방법으로 측정하는 장치들을 개발,공급하고 있다. 독자 개발한 박막두께 측정장치는 측정 시간이 1초 이내로 매우 짧고 비접촉 비파괴방식이며 현미경을 사용해 아주 좁은 영역을 선택적으로 측정할 수 있다. 이들 제품 및 기술들은 삼성전자 등 국내 대기업에 공급되고 있으며 일본 미국 등 선진국에서도 구입 문의가 잇따라고 있다. 이중환 사장은 "정밀분석 기술에 바탕을 둔 연구개발로 실력을 배양하고 고부가가치 산업활동을 통해 국가경제에 이바지하는 기업으로 성장해 나갈 것"이라며 "처음 고안된 미세영역 두께지도 측정 시스템이 이러한 기업의 성장에 크게 기여할 수 있을 것"이라고 말했다. (042)864-2742 대전=백창현 기자 chbaik@hankyung.com