유니셈은 28일 원자층 증착 설비 및 이를 이용한 원자층 증착방법에 대해 특허를 취득했다고 밝혔다.

회사는 나노기술에 반드시 필요한 장비로서 공정 및 장비를 개발할 예정이라고 설명했다.투자액은 3억원.

[한경닷컴 뉴스팀]