원익의 자회사 아이피에스(IPS)가 네덜란드 반도체 업체인 ASML과 제휴를 맺고 반도체 장비를 해외에 수출한다. 원익은 자회사 아이피에스가 12일 자체 개발한 반도체 웨이퍼 원자층 증착(ADL) 장비를 ASML에 공급키로 하는 계약을 체결했다고 밝혔다. 아이피에스는 이와 함께 로열티를 받는 조건으로 ADL 원천기술도 ASML에 제공키로 했다고 덧붙였다. ADL장비는 반도체 웨이퍼에 원자층 막을 입히는 장치로 반도체생산 전공정에 필요한 장비다. 회사측은 이를 위해 이미 평택공장에서 장비 생산에 들어갔다. 이들 제품은 ASML을 통해 전세계 D램업체에 판매될 예정이다. 아이피에스 관계자는 "수출 규모는 계약상 밝힐 수 없지만 2∼3년내 전세계 ADL시장 규모는 10억달러에 달할 것으로 예상된다"고 설명했다. 장외기업인 이 회사는 원익이 24%,원익의 대주주인 이용한 회장이 41%의 지분을 갖고 있다. 김철수 기자 kcsoo@hankyung.com