다산씨앤드아이는 18일 반도체 설비용 항온항습 공기공급 방법 및 장치에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다. 이는 반도체 제조공정상의 온습도 조절장치인 THC의 핵심 기술이라고 회사측은 소개했다. [한경닷컴 뉴스팀]