반도체 장비업체인 에프에스티(대표 장명식)가 삼성전자 반도체 공장에 5억원어치의 칠러를 공급키로 하는 내용의 계약을 체결했다고 20일 밝혔다. 칠러는 반도체 공정용 온도조절장치로 웨이퍼를 식각할 때 발생하는 열을 제어해 주는 기능을 한다. 반도체 제조공정에 사용되는 포토마스크보호용 막인 펠리클과 함께 에프에스티의 주력제품이다. 에프에스티는 열전소자 칠러와 콤프레서 타입 칠러 등을 생산하고 있다. 에프에스티는 "올해 상반기중 총 55억원의 매출을 기록했다"며 "최근 펠리클과 칠러 등의 공급이 꾸준히 늘고 있어 하반기에는 1백억원 이상의 매출을 달성할 수 있을 것"이라고 전망했다. (031)370-0700 고경봉 기자 kgb@hankyung.com