다산씨앤드아이 미국 특허 취득

다산씨앤드아이는 1일 '클러스터를 이용한 세정 장치 및 방법'으로 미국 특허를 취득했다고 밝혔다.

이번 특허는 반도체 제조공정용 장비인 웨이퍼 세정장비의 일종으로 기존 장비와는 다른 방법인 건식세정방법을 이용한 기술인 것으로 알려졌다.

[한경닷컴]