주성엔지니어링은 반도체 소자 제조장치에 대해 미국특허 취득했다고 27일 밝혔다. 회사는 이장비를 사용하면 장비내 모서리까지 균일하게 세정이 가능,생산성이 향상되고 공정수율을 높일수 있다고 덧붙였다. 투자액은 2억원이다. [한경닷컴 뉴스팀]