하이닉스반도체가 반도체 3백㎜ 웨이퍼 라인 투자준비에 들어갔다. 하이닉스는 3일 3백㎜ 라인 가동에 대비해 환경안전보건 기술연구소를 이천에 설립하고 이날 현판식을 가졌다고 밝혔다. 이 연구소는 기존 2백㎜ 웨이퍼 가공설비보다 규제가 까다로운 차세대 생산라인인 3백㎜ 라인 가동에 대비,최적의 과불화탄소 및 휘발성유기화합물(VOC) 방출요건 등에 대한 종합적이 환경기술을 개발할 예정이다. 하이닉스는 현재 청주공장에 설치된 클린룸 설비를 완료한 3백㎜ 웨이퍼 라인에 대해 내년 하반기 시험생산을 목표로 올 연말부터 연구개발 등에 본격 투자를 시작할 방침이다. 3백㎜ 라인은 내년 하반기나 2005년초부터 시험가동에 들어갈 수 있을 것으로 예상하고 있다. 김성택 기자 idntt@hankyung.com