벤처기업 지엔피테크놀로지를 운영하는 부산대 정해도 교수가 차세대 반도체 공정기술을 개발해 일본 계측기 연구 기관으로부터 상을 받았다. 부산대는 2일 정해도 공과대학 기계공학부 교수가 주로 1기가 D램이상의 초미세 소자에 적용되는 핵심 공정기술을 개발했다고 밝혔다. 정 교수는 계측분야에서 인정을 받고 있는 일본 미쓰토요과학기술진흥협회로부터 '반도체 소자의 평탄화 CMP 공정의 모니터링'이라는 주제의 연구결과로 과학기술상(상금 2백50만엔)을 받았다. 부산=김태현 기자 hyun@hankyung.com