한국이 세계 1위를 차지하고 있는 TFT-LCD(초박막액정표시장치)의 성능과 생산력을 획기적으로 높일 수 있는 기술이 개발됐다. 서울대 기계항공공학부 박희재 교수팀은 13일 대면적 TFT-LCD 내의 극히 미세한 3차원 패턴을 나노미터 정밀도로 측정할 수 있는 인라인 측정기술을 개발했다고 밝혔다. TFT-LCD 내의 3차원 패턴은 매우 미세한 돌기가 일정 간격 촘촘히 나열해 있는 것으로 화면의 휘도와 색상을 좌우하는 중요한 부분이다. 돌기의 크기가 일정하지 않을 경우 휘도와 색상 등이 낮아져 결과적으로 TFT-LCD 생산력이 떨어지게 된다. 이번에 개발된 기술은 3차원 패턴을 광학적 원리를 이용한 비접촉식 방법으로 나노미터 크기로 세밀하게 측정할 수 있는 것은 물론 측정 자료를 TFT-LCD 제작기에 보내 패턴의 균일성을 유지 보완할 수 있도록 한 것이다. 기존의 측정기는 측정의 정밀도가 떨어질 뿐만 아니라 접촉식 측정방법으로 인해 TFT-LCD면이 손상되고 측정 속도가 느려 TFT-LCD 미세 패턴의 정밀도 저하와 수율저하 등 문제점을 안고 있었다. 박 교수는 "고성능 간섭광학계 시스템 설계와 제작,나노미터 구동시스템 설계제작,TFT-LCD의 투명 박막 패턴 측정을 위한 측정 알고리즘 개발 등을 통해 대면적 TFT-LCD 패턴 측정기술을 개발했다"고 설명했다. 이번 기술은 정밀도,측정성능,인라인 측정기능 등이 세계에서 가장 앞선 것으로 평가되고 있으며 한국 미국 일본 등에 특허로 출원됐다. 장원락 기자 wrjang@hankyung.com