반도체는 우리나라 산업 가운데 가장 경쟁력 있는 산업으로 꼽히고 있다.

그러나 반도체 제조장비 부문은 미국, 일본에 비해 열악한 것이 사실이다.

이 때문에 공정의 우위를 통해 성장하고 있지만 반도체 제조장비 중에서도 가장 부가가치가 큰 전공정 장비의 핵심 기술을 확보하지 못해 이도 어려운 실정이다.

이러한 가운데 13년 동안 반도체 제조장비를 개발해 온 (주)좋은기술(www.jtoi.com)이 가열냉각장치(Hot or Chill plate Oven System) 개발에 성공해 국내 반도체 기술 수준을 혁신적으로 향상시켰다는 평가를 받고 있다.

이 회사 이영원 대표는 "가열냉각장치는 반도체 제조 라인의 전공정 중에서도 사진(Photolithography)공정 장비인 트랙장비에서 필수적으로 요구되는 핵심 모듈"이라고 설명하고 "일반적으로 1대의 트랙장비에 가열장치 및 냉각장치가 20여대가 들어가기 때문에 가열냉각장치의 성능이 곧 반도체 소자의 집적도와 수율을 결정하는 가장 중요한 요소가 되고 있다"고 강조했다.

가열냉각장치는 반도체의 품질과 수율에 결정적인 영향을 미치는 온도 균일도가 생명이다.

이 회사의 가열냉각장치는 150℃에서 ±0.1℃의 온도 편차를 나타내 세계 최고의 장비업체와 어깨를 나란히 하는 기술력을 자랑한다.

특히 이를 통해 이 회사는 100대 우수 특허제품대상 우수상,대한변리사회 회장상을 수상하는 쾌거를 이룩했다.

이 밖에도 이 회사는 1998년부터 산업자원부의 공업기반기술 자금 지원을 받아 반도체 공정 가운데 핵심인 포토 공정에 필요한 8인치 쿨링&핫플레이트 오븐 시스템을 개발했다.

이어 99년에는 섭씨 23도에서 편차가 섭씨 0.2도 이내인 쿨링 플레이트 시스템을 개발하고, 2000년에는 섭씨 150도에서 섭씨 0.3도 이내의 편차를 보이는 핫플레이트 오븐 시스템 개발에 성공했다.

이를 바탕으로 2001년에는 12인치용 반도체 제조장비 개발해 업계의 주목을 받은 바 있다.

이 대표는 "가열냉각장치의 개발로 반도체 제조는 물론 반도체 장비 제조부문의 국가적 경쟁력 향상에 기여하고 있다"며 "특히 타 산업분야로 파급 및 수입 대체 효과가 나타나고 있으며, 미국 일본 대만 등으로의 수출도 활발히 이루어지고 있다"고 강조했다.

그는 이어 "더 높은 수준의 기술 개발을 위해 삼성전자, 하이닉스와 손잡고 신제품 및 고유 브랜드 개발에 박차를 가하고 있다"고 말하고 "더불어 기술의 보호 및 제품의 높은 효용성 및 보편성을 위해 기술 인증 및 특허 획득을 준비 중"이라고 밝혔다.

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