반도체 업계가 황사현상으로 인한 피해를 줄이기 위한 특허 출원에 열을 올리고 있다. 7일 특허청에 따르면 반도체 업계는 지난 99년부터 2003년까지 5년동안 황사 피해에 대비한 특허를 1백10건이나 출원했다. 연도별로는 황사피해가 심했던 2001년 29건,2002년에는 26건에 이르렀다. 기술별로는 인체에 공기를 쏴 먼지를 털어내는 에어 샤워와 반입자재에 묻은 미세먼지를 제거하는 에어건 기술 등 먼지제거 기술이 51건,송풍장치와 필터의 기능을 향상해 공정실로 유입되는 공기의 오염을 막는 기술 39건,반도체 웨이퍼가 수납된 상자를 공정장치로 반입할 때 오염을 막는 기술 20건 등이었다. 업체별로는 삼성전자와 하이닉스반도체가 전체의 60%를 차지했다. 삼성전자 관계자는 "올해 최악의 황사가 예상됨에 따라 황사 대비관련 출원도 늘어날 것"이라고 밝혔다. 임도원 기자 van7691@hankyung.com