7일 주성엔지니어링은 반도체 소자 제조용 플라스마 스프레이 장치와 이를 이용한 반도체 소자 제조방법에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 투자금액은 5억원이며 회사측은 반도체 장비의 경쟁력 강화를 꾀할 수 있을 것이라고 설명했다. 한경닷컴 장원준 기자 ch100sa@hankyung.com