동진쎄미켐은 화학적 기계적 연마 슬러리 조성물및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법과 레지스트리무버 조성물에 대한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.

한경닷컴 김희수 기자 hskim@hankyung.com