동진쎄미켐,레지스트리무버 조성물등 특허 2건 취득

입력2004.08.06 14:48 수정2004.08.06 14:48

동진쎄미켐은 화학적 기계적 연마 슬러리 조성물및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법과 레지스트리무버 조성물에 대한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.

한경닷컴 김희수 기자 hskim@hankyung.com

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