주성엔지니어링 ICP 에쳐용 가스 확산판 특허취득 입력2004.08.26 14:00 수정2004.08.26 14:00 글자크기 조절 기사 스크랩 기사 스크랩 공유 공유 댓글 0 댓글 클린뷰 클린뷰 프린트 프린트 26일 주성엔지니어링은 ICP 에쳐용 가스 확산판에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 회사측은 ICP 에쳐용 가스 확산판 발명으로 에칭공정의 균일도가 향상됨으로써 우수한 품질의 반도체 소자를 제조할 수 있다고 설명했다. 한경닷컴 장원준 기자 ch100sa@hankyung.com 좋아요 싫어요 후속기사 원해요 ⓒ 한경닷컴, 무단전재 및 재배포 금지 한국경제 구독신청 모바일한경 보기 관련 뉴스 1 M7보다 짭짤…석유·가스 ETF 올 들어 10% 상승 도널드 트럼프 미국 대통령 당선인의 취임을 앞두고 미국 화석연료 상장지수펀드(ETF)가 급등하고 있다. 트럼프 당선인이 오는 20일 취임한 후 곧바로 화석연료 산업을 지원하기 위한 다수의 행정명령을 내릴 계획인 데다... 2 취임 후 행정명령 예고…M7 앞지른 '트럼프 수혜' 석유·가스 ETF 도널드 트럼프 미국 대통령 당선인의 취임을 앞두고 미국 화석연료 상장지수펀드(ETF)가 급등하고 있다. 트럼프 당선인이 오는 20일 취임한 후 곧바로 화... 3 "배당 재투자 금지"…6조 '해외주식 TR ETF' 사라진다 6조원 규모에 달하는 해외주식형 토털리턴(TR) 상장지수펀드(ETF)의 투자자가 혼란에 빠졌다. TR ETF는 보유 기간 발생한 이자·배당 등 모든 수익을 분배하지 않고 자동으로 재투자하는 상품인데, E...