권기청 주성엔지니어링 연구원(35？사진)은 반도체 및 액정표시장치(LCD) 플라즈마 장치기술 개발로 지금까지 21건의 특허를 등록한 이 분야 국내 최고 수준의 전문가로 꼽힌다. 권 연구원은 나노 크기의 미세 패턴 박막을 가공하는 건식 식각장비(드라이에처)를 국산화하는 데 성공,한국 반도체 장치 산업의 경쟁력을 한 단계 끌어올린 것으로 평가받고 있다. 식각장비는 노광·현상 공정을 통해 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하면 패턴 이외의 불필요한 부분을 제거하는 반도체 공정의 핵심 장비다. 식각장비는 그동안 국내에서도 생산해 왔으나 나노 크기의 패턴까지 가공하는 건식 식각장비는 미국 어플라이드머티리얼,램리서치,일본 텔 등이 세계시장을 장악해 왔다. 주성엔지니어링은 지난해 건식 식각장비 '타키온'의 상용화에 성공해 지난 1월 40억원어치를 하이닉스에 공급했으며 올해 타키온 판매로 80억원의 매출을 올릴 것으로 전망하고 있다. 권 연구원은 광운대 물리학과를 졸업했으며 2000년 한국과학기술원(KAIST)에서 플라즈마 물리 연구로 박사학위를 받았다. 이후 주성엔지니어링에 입사,줄곧 반도체 및 LCD 플라즈마 장치 연구에 주력해 왔다. 그는 앞으로 연구개발에 더욱 박차를 가해 산화막에도 적용할 수 있는 건식 식각장비를 개발할 계획이다. 또 반도체 및 LCD 제조공정을 개선시킬 수 있는 차세대 플라즈마 기술도 개발한다는 각오다. 권 연구원은 "주성엔지니어링이 생산한 식각장비가 전세계 반도체 및 LCD 업체에서 사용하도록 최고 품질의 제품을 만들어낼 것"이라고 힘줘 말했다. 임도원 기자 van7691@hankyung.com