반도체장비 제조업체인 에프에스티(대표 장명식)는 대만 D램업체인 프로모스로부터 50만달러어치의 전극제어 칠러(온도조절장치)를 수주했다고 13일 밝혔다. 이 칠러는 반도체 공정장비 전극의 온도가 올라가는 것을 막아 일정하게 유지해주는 인공지능형 온도조절창치다. 이 회사 제품은 프로모스가 12인치 웨이퍼 양산을 목표로 전환작업을 추진 중인 대만 타이충의 D램 생산라인에 들어갈 예정이다. 에프에스티 관계자는 "칠러장비를 공정장비업체가 아니라 대만 반도체 제조사가 직접 지정한 것은 이례적"이라며 "이처럼 기술력을 인정받게 됨에 따라 대만의 다른 업체에도 칠러를 공급할 수 있을 것"이라고 전망했다. 에프에스티는 1987년 설립된 기업으로 반도체·LCD용 펠리크(포토마스크용 보호막)와 칠러를 생산하고 있다. 지난해 299억원 매출에 12억원의 당기순이익을 올렸다. (031)370-0700 임상택 기자 limst@hankyung.com