국내 중소기업인 파이컴이 미국 대형기업과의 특허싸움에서 이겼다. 반도체 검사장비 제조업체인 파이컴은 미국의 폼팩터를 상대로 국내 특허법원에 제기한 탐침카드 특허무효 소송 4건 중 2건에 대해 승소 판결을 받았다고 27일 공시했다. 폼팩터는 나스닥 시장에 상장된 반도체 검사장비업체로 시가총액이 1조원에 달하는 대형사다. 차세대 반도체 검사부품인 초소형정밀가공기술(MEMS) 탐침카드 시장에서 이 회사가 차지하는 점유율은 약 60%에 달한다. MEMS탐침카드는 100나노 이하의 반도체칩을 탐지하며 반도체 웨이퍼를 기존 제품보다 4~5배 이상 빠른 속도로 검사하는 차세대 부품이다. 두 업체 간 법적 공방은 2003년 말 파이컴이 MEMS 탐침카드를 출시하면서 시작됐다. 이듬해 2월 폼팩터는 파이컴을 상대로 자사기술을 사용했다며 조립체 2건 제조공정 2건 등 모두 4건에 대해 특허침해 소송을 제기했다. 파이컴은 이에 맞서 작년 5월 폼팩터의 특허가 특허요건에 해당되지 않는다며 특허심판원에 특허무효심판을 제기했다. 그러나 11월 말 특허심판원은 폼팩터의 특허가 유효하다는 판결을 내렸다. 파이컴은 이에 좌절하지 않고 올초 새로운 증거를 보강해 특허법원에 심판결과에 대한 취소소송을 제기해 결국 이번에 특허심판원 판결을 뒤집은 결과를 받아낸 것이다. 파이컴 관계자는 "이번 승소는 나머지 2건의 소송에도 적지 않은 영향을 미칠 것"이라며 "폼팩터가 대법원에 상고하더라도 전문법원인 특허법원의 판결이 대법원에서 번복될 가능성은 거의 없어 이번 승소가 그대로 확정될 가능성이 높다"고 설명했다. 반도체 검사부품의 전 세계 시장 규모는 현재 7000억~8000억원 규모로 이 중 MEMS 탐침카드가 60%(약 4500억원) 정도를 차지하고 있다. 지난 79년 백현전자로 설립된 파이컴은 99년 코스닥 시장에 올라 현재 시가총액이 1450억원 정도다. 지난해 매출액 627억원에 101억원의 순이익을 기록했다. 임상택 기자 limst@hankyung.com