반도체장비 제조업체인 세메스(대표 이승환)는 오스트리아 세즈사가 최근 특허법원에 제기한 '원판형공작물 식각장치'(SWP)에 대한 특허권 침해금지 소송과 특허무효심판 청구에서 전부 승소판결을 받았다고 15일 밝혔다. SWP는 반도체 제조공정에서 웨이퍼 표면에 도포된 불필요한 막질을 식각하는 세정장비다. 세메스 관계자는 "세즈사 특허의 선행기술 조사결과 SWP장비의 기본구조가 사전 공지된 기술로 돼 있어 등록무효 심결을 받았다"며 "내년 1월 초까지 특허법원에 항소할 수 있으나 새로운 입증자료가 없는 1심 판결이 번복될 가능성이 없다"고 말했다. 이번 판결로 세메스는 SWP 판매의 걸림돌을 제거함으로써 아시아 세정장비 시장에 본격 진출,이 분야에서 1000억원대의 매출을 올릴 것으로 회사측은 기대했다. 지난 93년 삼성전자 자회사로 설립된 세메스는 CVD(화학기상증착장치) 옥사이드에처 등 다양한 반도체장비를 생산하고 있다. (041)620-8000 임상택 기자 limst@hankyung.com