미래로시스템, 반도체 검사장비 개발

반도체장비 제조업체인 미래로시스템(대표 김중근)은 반도체 전공정 검사장비인 'WaBIS'를 개발했다고 5일 밝혔다.

이 장비는 웨이퍼 뒷면에 이물질이 있는지 여부를 판단하는 등 반도체 제조공정의 수율에 영향을 미치는 각종 결함을 찾아낸다.

또한 결함을 유발한 공정 장비를 추적하는 기능도 갖고 있다.

미래로시스템 관계자는 "90㎚ 이하의 미세 공정을 하면서 웨이퍼 뒷면의 결함이 수율에 미치는 영향이 커지면서 검사장비의 수요가 늘고 있다"고 말했다.

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