코닉시스템은 20일 어닐링장치를 특허 취득했다고 공시했다.

회사측은 "이번에 취득한 특허는 당사의 레이저를 이용한 실리콘결정화 장비에 적용해 활용할 것"이라고 밝혔다.

한경닷컴 이유선 기자 yury@hankyung.com