피에스케이, 기판 에싱 방법에 대한 특허취득 입력2008.01.08 16:38 수정2008.01.08 16:38 글자크기 조절 기사 스크랩 기사 스크랩 공유 공유 댓글 0 댓글 클린뷰 클린뷰 프린트 프린트 피에스케이는 8일 공시를 통해 기판 에싱 방법에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다. 이번 발명은 에칭(etching) 공정 중 발생된 부산물(polymer) 또는 이온주입(implantation) 공정으로 인해 변형된 감광액(PR)의 효과적인 제거(Ashing) 방법에 관한 것이라고 회사측은 덧붙였다. 한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com 좋아요 싫어요 후속기사 원해요 ⓒ 한경닷컴, 무단전재 및 재배포 금지 한국경제 구독신청 모바일한경 보기 관련 뉴스 1 '1470원' 환율 방어에 외환보유액 한달새 46억불 증발 [한경 외환시장 워치] 외환보유액이 지난 한달간 46억달러 가량 감소한 것으로 나타났다. 연말 효과가 사라진데다 당국의 환율 방어를 위한 개입이 나타나면서 9개월만에 최대 폭 감소했다.한국은행이 5일 발표한 외환보유액 통계에 따르면 1월 ... 2 "위험 1등급 상품 2등급으로"…국민銀 '전액손실' 펀드 불완전판매 논란 KB국민은행이 최근 전액 손실이 발생한 '이지스글로벌부동산229호'(파생형) 펀드를 개인 투자자에게 판매하는 과정에서 투자상품 위험등급을 2등급으로 한 단계 낮춰 소개·판매했다는 논란이 일... 3 [마켓PRO] Today's Pick:"SKT 너무 쌉니다. 2월 중순 노려야" ※Today's Pick은 매일 아침 여의도 애널리스트들이 발간한 종목분석 보고서 중 투자의견 및 목표주가가 변경된 종목을 위주로 한국경제 기자들이 핵심 내용을 간추려 전달합니다.👀주목할 만...