반도체 전공정 장비업체인 테스는 3일 최근 자사의 PE CVD ACL장비가 나노반도체 장비 원천기술 상용화 사업(상생프로젝트)의 최 종 결과로, 양산공정 수행평가 인증서를 획득했다고 밝혔다.

일명 상생프로젝트로 불리는 나노반도체 장비 원천기술 상용화사업은 2007년 지식경제부(구 산업자원부) 주관으로 국내 반도체메이커 3사인 동부하이텍, 삼성전자, 하이닉스 등이 참여해 장비 국산화를 통해 반도체 분야의 경쟁력 향상을 위해 진행중인 국책 과제이다.

테스는 상생프로젝트 중 PE CVD ACL(Amorphous Carbon Layer ; 비정질 탄소 박막)의 개발자로 선정돼 작년 6월 개발을 완료한 후 하이닉스에 장비 공급이라는 성과까지 달성한 바 있다. 특히 이번 인증서 획득을 통해 양산공정에서 테스의 ACL장비가 성공적으로 운영되고 있다는 검증까지 완료했다.

회사 관계자는 "인증서 획득은 양산라인에서의 운용을 통해 반도체 장비의 가장 중요한 요소인 신뢰성을 확보했다는 의의와 더불어 외산 장비의 독무대였던 반도체 전공정 장비의 국산화가 성공적으로 마무리됐다는 데 의미가 있다"고 말했다.

이 관계자는 또한 "기술발전에 따른 공정미세화로 ACL박막의 수요가 증가하고 있고, 국내 반도체 소자업체들은 20%미만을 차지하 는 장비 국산화율을 2015년까지 50%까지 확대할 계획을 가지고 있어 상생프로젝트를 통해 국산화에 성공한 ACL장비의 수요 확대가 예상된다"고 덧붙였다.

현재 국내 반도체 장비업체중 ACL막질을 수행할 수 있는 장비는 테스만이 개발에 성공해 양산중이며 대부분 외산장비가 시장을 점유하고 있다.

한편 나노반도체 장비 원천기술 상용화 사업은 반도체 부분 대기업과 중소기업간 상생 협력의 성공적인 모델로 평가받고 있으며 2007년부터 2011년까지 45~22나노급 증착, 식각등의 국산장비를 개발하는 사업이다.


한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com