세계 최고 수준의 정밀도를 가진 반도체 칩 검사장비가 개발돼 상용화됐다.

한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부의 박천홍 박사팀은 세크론㈜과 공동으로 300㎜ 웨이퍼용 고정밀도 프로브 스테이션의 기술개발 및 상용화에 성공했다고 19일 밝혔다.

웨이퍼 프로브 스테이션이란 반도체 웨이퍼 칩의 전기적 특성을 검사하는 반도체 전공정의 핵심 검사장비로 반도체 칩 안의 패드에 미세한 바늘(프로브 카드 탐침)을 접촉시킨 후 검사기(테스터)의 전기적 신호로 반도체 칩의 상태를 검사할 수 있도록 하는 장비다.

이 장비는 접촉 정밀도 1㎛(마이크로미터)를 구현하고 300㎜ 웨이퍼를 한 번에 검사할 수 있도록 해 생산성을 대폭 향상시켰다. 현재 상용화된 외국산 프로브 스테이션의 접촉 정밀도는 2㎛ 수준.삼성전자가 이 제품에 대해 양산 검증을 실시한 결과 접촉 정밀도와 생산성을 포함한 대부분의 항목에서 외국 회사 제품보다 우수하거나 동등한 것으로 평가받았다. 세크론은 이미 140억원 상당의 제품을 삼성 측에 납품했다.

기계연에 따르면 현재 웨이퍼 프로브 스테이션의 세계 시장 규모는 약 8300억원,국내 시장은 약 850억원 규모로 추산된다. 이번 개발로 일본 업체들이 80% 이상 독점하고 있는 국내 시장에서 연간 300억원 이상의 수입대체 효과가 있을 것으로 기대되며 향후 수출도 가능할 전망이다.

박천홍 박사는 "개발된 웨이퍼 프로브 스테이션은 산업계와 연구소의 공동 개발 장비라는 점에서 의미를 가지고 있다"고 밝혔다.

황경남 기자 knhwang@hankyung.com