에버테크노는 이번 과제에서 한국과학기술원(KAIST)과 함께 디지털노광기용 초정밀 Nano Scan Stage 제어 기술을 개발할 예정이다. 21억원의 총 사업비 중에서 정부가 15억원을 지원한다.
정백운 에버테크노 대표이사는 "2003년 이후 초정밀 STAGE사업을 육성하기 위해 기술개발과 투자를 진행해왔다"면서 "이번 과제를 통해 개발되는 기술은 디지털노광기 뿐만 아니라 Nano급 초정밀이 요구되는 반도체, LCD 장비 등 많은 분야에서 활용이 가능하다"고 말했다.
한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com