코디콤에 따르면 실리콘 단결정 성장로는 실리콘 메탈을 폴리실리콘으로 만드는 주요 장비로 현재 전량 수입되고 있다. 그러나 수년 전부터 개발에 나선 오리엔탈머티리얼과 코디콤·삼양옵틱스의 지원으로 국산화에 성공했다는 것.
코디콤과 삼양옵틱스측은 이 성장로 개발로 인해 앞으로 5년간 약 1500억원의 수입대체 효과가 있을 것으로 예상했다. 단결정 성장로 개발시 가장 중요한 점은 직경제어시스템, 메인 히터장치, Hot-zone 설계 등 세가지 핵심부분에 대한 자체 설계 기술이라고 이 회사 관계자는 설명했다.
장비 개발을 주도한 오리엔탈머티리얼 조용희 대표는 "실리콘 성장로의 핵심 기술인 메인히터, 직경제어시스템, Hot-zone을 모두 설계, 제조가 가능해지면 향후 5년간 약 600대, 1500억원 가량의 수입 대체 효과가 있을 것"으로 예상했다.
한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com