원자로 이용 8인치 실리콘반도체 양산

원자력硏 박상준 교수팀

한국원자력연구원은 박상준 하나로운영부 책임연구원팀이 연구용 원자로인 '하나로'에서 지름 8인치의 실리콘 단결정(잉곳 · ingot)에 중성자를 쪼여 고품질 NTD 반도체(중성자 핵변환 도핑 반도체)를 생산할 수 있는 기술을 개발, 양산체제를 구축했다고 18일 발표했다. 8인치급 NTD반도체의 국내 양산은 독일，호주에 이어 세 번째다. NTD 반도체는 고속전철，하이브리드 자동차의 인버터 등 비싼 가격의 대전력용 반도체 소자 제조에 이용된다.

NTD 반도체는 인(P)의 분포가 고를수록 더 높은 전압과 전류에 사용할 수 있어 원자로에서 중성자를 효과적으로 제어해 실리콘과 중성자가 균일하게 반응하도록 하는 기술이 필요하다. 원자력연은 2년간의 연구 끝에 원자로 내 위치에 따라 차이가 있는 중성자 밀도를 균일하게 유지할 수 있는 기술을 개발,외국 제품에 비해 품질이 뛰어나고 효율도 높은 양산 체제를 구축하는 데 성공했다. 원자력연은 2002년부터 지름 5인치의 NTD 반도체를 양산하기 시작했으며 2005년부터는 6인치 NTD 반도체를 생산，수출해 전 세계 NTD 반도체 시장의 10%가량을 차지하고 있다.

황경남 기자 knhwang@hankyung.com