코닉시스템, 급속열처리장비(RTP) 33억 수주

[한경닷컴] 반도체 액정표시장치 및 위성 관련 제조업체인 코닉시스템(대표 정기로)은 삼성전자로부터 급속 열처리장치인 RTP시스템을 33억원에 수주했다고 2일 밝혔다.

이 장비는 반도체용 300㎜ 웨이퍼의 급속 열처리 장비로 자기부상 로테이션 모듈을 적용,기존 제품보다 웨이퍼 양산제품의 수율과 품질을 한층 높였다.D램 및 낸드플래시 생산에 모두 사용할 수 있다.

회사측은 기술적으로 앞서 있는 미국 어플라이드 머티리얼,맷슨 테크놀로지 등 해외업체와의 경쟁에서 수주하는데 성공했다고 설명했다.회사 관계자는 “이 장비는 반도체 뿐만 아니라 발광다이오드(LED),태양광 장비의 개발과도 밀접한 연관이 있어 주요 반도체,LCD,LED 제조업체를 대상으로 수주를 추진하고 있다”고 말했다.

김후진 기자 jin@hankyung.com