발광다이오드(LED)의 핵심부품인 LED 에피웨이퍼(Epiwafer)와 칩을 전문으로 생산하는 ㈜에피밸리(대표 장훈철 · www.epvalley.com)는 '저탄소 녹색성장'의 숨은 기대주다.

국내 최초로 청색 LED의 기초소자인 질화갈륨(GaN) Blue 에피웨이퍼를 상용화한 이 회사는 대한민국을 대표하는 LED전문 기업으로 성장가도를 달리고 있다.

정부가 선정한 17대 신 성장 동력 중 LED 응용산업 관련 독보적인 원천기술을 보유한 에피밸리는 세계 주요 국가에 50여 건의 특허를 출원 완료하고 신흥시장 진입을 본격화하고 있다.

차세대 광원인 LED기술력의 차이는 곧 '밝기'의 차이다. 사파이어 기판을 에피웨이퍼로 증식시키는 데 있어 암모니아 등 다양한 화합물이 들어가는데，이 화합물의 비중에 따라 웨이퍼의 생산성과 휘도에 큰 차이가 난다. 이 회사는 수많은 시행착오를 거쳐 최근 'Capella7' 이라는 최적화된 래시피를 개발해 휘도 상승은 물론 웨이퍼 생산성을 20% 개선하는 데 성공했다. 이는 곧 웨이퍼가 증식되는 시간을 20% 줄였다는 것을 의미하며，이는 상당한 수익개선 효과로 이어지고 있다. 또한 칩의 디자인과 레이아웃을 최적화해 생산성과 휘도를 획기적으로 높인 'SM－Power Chip' 공법과 칩의 빛 반사율을 높여 휘도를 더욱 개선한 'OM' 공법도 자체 개발하는 데 성공했다.

특히 지난해 4인치 웨이퍼 양산기술 개발에 성공한 에피밸리는 현재 삼성전기와 함께 시장에서 양강 구도를 형성하고 있다. 4인치 LED 웨이퍼를 쓰면 2인치 웨이퍼에 비해 칩 공정에서만 최고 30% 가까운 원가절감 효과를 가져 올 수 있다. 하지만 수율 안정화가 쉽지 않아 지금까지 4인치 웨이퍼를 쓰는 곳은 일본 쇼와덴코 등 극히 일부에 불과했다. LED 제조상 에피공정은 700~1000℃ 내외의 고온에서 진행되는 탓에 사파이어 기판이 휘기 쉬웠다. 하지만 이 회사가 개발한 온도제어 기술을 적용하면 650마이크로미터의 얇은 사파이어 기판으로도 휨 현상을 최소화할 수 있다.

에피밸리는 앞으로 고휘도 파워칩 시장을 특화해 집중 공략한다는 방침이다.