AP시스템 "기판회전요동장치 관련 특허권 취득"

입력2009.07.01 11:40 수정2009.07.01 11:40

AP시스템은 1일 급속열처리용 기판회전요동장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "이번 발명은 기판이 균일하게 가열되도록 하는 급속열처리용 기판회전요동장치와 관련된 것"이라고 밝혔다.

한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com

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