테스는 플라즈마 발생 장치 관련 특허를 취득했다고 3일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허가 박막태양전지 제조장치와 관련된 것"이라며 "특허 기술을 이용하면 서로 다른 입력 주파수를 이용해 정상파의 노드 형성을 방지, 높은 수준의 플라즈마 균일성을 보장할 수 있다"고 설명했다.

한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com