[한경닷컴]코스닥시장의 반도체 및 디스플레이 장비기업인 DMS가 창사이래 처음으로 반도체전공정 핵심장비인 건식 식각장비(드라이에처) 4대를 삼성전자로부터 수주했다고 22일 밝혔다.

건식 식각장비는 국산화율이 낮고 해외 의존도가 높아 국산화가 시급했던 제품으로 DMS는 지난해 지식경제부와 삼성전자 등 반도체 3사가 진행한 대·중소기업 상생협력 프로그램인 ‘성능평가 협력사업’에 참여해 국산화에 성공했다.

박용석 DMS 사장은 “노광장비 화학증착장비 등과 함께 반도체 3대 핵심장비로 불리는 건식 식각장비를 순수 자체기술로 국산화했다는 면에서 의미가 크다”며 “회사의 사업포트폴리오가 디스플레이 장비에 이어 반도체 장비 등으로 확대되며 안정적인 사업구조를 갖추게 됐다”고 말했다.

조재희 기자 joyjay@hankyung.com