제일모직은 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스가 제기한 반도체 웨이퍼 연마제에 대한 특허 관련 항소심에서 승소했다고 7일 발표했다.

이와 관련,서울고등법원 민사4부는 최근 "제일모직 제품은 반도체 기판 제조기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있는 자유기술에 해당하므로 원고의 특허권을 침해했다고 할 수 없어 원고의 항소를 기각한다"고 판결했다.

반도체 웨이퍼 연마용 슬러리는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄화하는 재료로,반도체 고집적화의 핵심소재 기술로 꼽힌다.

이정선 기자 sunee@hankyung.com