[한경닷컴] (닷컴)원통형 나노금형기술 개발
나노미터급 회로공정을 마치 원통을 굴리듯이 연속으로 처리할 수 있는 기술을 국내 연구진 및 기업이 개발했다.
한국전기연구원은 31일 서울 역삼동 과학기술회관에서 연구개발 성과발표회를 갖고 LCD 기판·태양전지 및 시스템반도체 등에 적용할 수 있는‘원통형 나노금형 노광 및 플라즈마 식각 기술’을 세계 최초로 개발했다고 밝혔다.
이 기술은 자기부상 기술을 이용,진공에서 원통형 금형을 띄워 회전시키면서 전자빔을 쏴 수백 나노미터 급 노광(회로패턴을 그리는 것)장비를 구현한 것이다.롤러를 타듯 자기부상 터널을 통해 금형이 회전하면서 대면적 회로 기판에 공정을 할 수 있다는 설명이다.한국전기연구원 오현석 박사(밀양나노센터장)는“종전에는 평판 금형을 이용해 기판에 도장을 찍듯 작업을 할 수 밖에 없었다”며“따라서 증착·노광(기판이나 웨이퍼에 회로패턴을 그리는 것)·식각 등을 수차례 반복해야 했지만 이 기술은 공정시간 및 비용을 획기적으로 줄여줄 수 있다”고 말했다.
연구원은 과거 자기부상열차 개발 경험을 활용하고 상진미크론·쓰리에스엠케이·뉴옵틱스 등 국내 기업들과 협력해 기술을 개발했으며 현재 12건의 국내외 특허를 출원한 것으로 알려졌다.연구원은 이날 미국 반도체 공정장비업체 비스텍과 사업협력 MOU를 체결했다.
연구원은 이 기술을▲LCD 패널을 구성하는 필름 여러 장을 나노패턴이 새겨진 특수광학필름 한장으로 대체▲3D TV 핵심부품인 특수편광필터 대량 생산▲투명 AM-OLED 구동소자를 대면적 필름형태로 대량 생산 등에 활용할 수 있다고 밝혔다.또 태양광 흡수율을 높일 수 있는 저가의 태양전지판도 저비용으로 대량 생산할 수 있다는 설명이다.이날 발표회에는 한욱 산업기술연구회 이사장·이한상 LG 디스플레이 상무 및 지식경제부 관계자 등 200여명이 참석했다.

이해성 기자 ihs@hankyung.com