엘오티베큠(대표 오흥식)은 18일 보도자료를 통해 "세계 최대용량인 'House Vacuum'용 건식진공펌프(제품명 GHD2700)를 삼성전자(15라인)에 납품한다고 밝혔다.

이 회사 관계자는 "이 제품은 기본모델 보다 27배 용량이 증가된 대용량 건식진공펌프"라며 "고객사인 삼성전자의 요청으로 약 1년 6개월간 제품개발기간과 1년간의 데모평가를 통해 이번 반도체 Fab에 납품하게 됐다"라고 설명했다.

이어 그는 "이 제품은 향후 신규 Fab 건설시 추가 납품이 이뤄질 것으로 예상된다"며 "LCD, 태양광, LED, OLED 등 첨단산업 공장 뿐만 아니라 깨끗한 환경을 요구하는 산업체 등에도 납품이 가능할 것"이라고 덧붙였다.

한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com