반도체나 디스플레이 산업의 청정도를 높일 수 있는 '자기부상 비접촉 무분진 이송장치'가 개발됐다.

한형석 한국기계연구원 자기부상연구실 실장은 자기부상 열차의 부상 및 추진 기술을 활용해 첨단 클린룸용 물류장비인 자기부상 무분진 이송장치를 개발했다고 17일 밝혔다. 이 사업은 충남도 디스플레이 연구 · 개발(R&D) 클러스터 사업의 지원을 받아 ㈜에버테크노와 공동으로 개발했다.

기존 롤러를 이용한 접촉식 이송 방식은 분진과 진동이 많이 발생해 높은 청정도가 요구되는 클린룸에서 사용하기가 쉽지 않았다. 그러나 이번에 개발된 장치는 하이브리드 자기부상 기술을 이용해 비접촉 방식을 구현,분진과 진동이 없는 게 특징이다.

하이브리드 부상 방식은 영구자석과 전자석을 함께 이용해 물체를 부상시키는 것이다. 이 방식은 화물과 이송장치 전체 중량을 영구자석의 힘으로만 부상시키고 전자석은 중량 변화나 외부 교란이 있는 경우에만 전력을 공급한다.

따라서 최소 전력으로 부상이 가능하고 전자석 코일에서 발열을 최소화하며 경량화 설계가 가능하다는 장점이 있다. 이 장치의 이송 속도는 초속 4m로 기존 롤러 이송장치에 비해 빠르며 여러장의 LCD용 글라스를 옮길 수 있어 이송량도 증가했다는 게 연구진의 설명이다.

또 분진 발생이 없어 먼지흡입기(FFU)의 유지보수비를 줄이는 효과도 있다. 한 실장은 "반도체 LCD OLED뿐 아니라 의약품 · 식품 생산라인에도 적용이 가능해 파급 효과가 클 것"이라며 "올해 말까지 신뢰성 검사를 마치면 청정 생산 공정에 바로 적용할 수 있다"고 말했다.

이해성 기자 ihs@hankyung.com