주성엔지니어링은 6일 열 부하를 효과적으로 제어할 수 있는 정전척의 냉각 베이스에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

회사측은 "반도체 장비 사업의 경쟁력 강화가 기대된다"고 전했다. 정전 척(ESC)는 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부 전극에 고정시키는 핵심 부품이다.

한경닷컴 최성남 기자 sulam@hankyung.com