테스는 28일 가스 공급 장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "유로 내에서 세정 가스와 공정 가스 간을 분리시켜 반응 부산물의 발생을 방지할 수 있는 특허"라고 밝혔다.

한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com