원익IPS는 2일 반도체 재료원판인 웨이퍼 이송 시 중심점을 맞추는 방법(센터링)에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "반도체 제조 장치에 있어서 진공 상태의 이송 챔버 내부에서 웨이퍼를 공정 챔버로 이송 시킬때 웨이퍼의 중심점을 맞추기 위한 방법"이라며 "앞으로 생산성을 높이기 위해 자사 장비에 적용할 것"이라고 설명했다.

한경닷컴 이민하 기자 minari@hankyung.com