하나마이크론의 자회사인 하나실리콘이 일본 도쿄일렉트론을 대상으로 54억원 규모의 유상증자를 실시키로 결정했다고 4일 밝혔다.

하나실리콘은 반도체 식각공정에 사용되는 실리콘 부품 음극(Cathode)과 링을 생산하고 있다.

도쿄일렉트론이 이번 보통주 유상증자에 참여하면 보유 지분이 14.6%로 하나마이크론에 이어 2대 주주로 올라서게 된다.

회사 측은 "도쿄일렉트론은 일본 최대, 세계 2위의 반도체·액정표시장치(LCD) 장비 업체"라며 "유기금속화학증착장비(MOCVD)와 식각장비 부문에서 전세계 시장 점유율 2위를 기록하고 있다"고 소개했다.

이어 "도쿄일렉트론은 대지진 여파로 현지 생산이 원할하지 못한 음극(Cathode)과 링을 안정적으로 공급받기 위해 투자를 결정한 것"이라며 "앞으로 음극(Cathode), 링 관련 공동 기술도 개발할 방침"이라고 밝혔다.

한경닷컴 정인지 기자 injee@hankyung.com