테스는 30일 공정 챔버의 슬릿 개폐 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "이번 특허를 취득한 기술을 이용하면 공정 챔버 내부의 온도를 전체적으로 일정하게 유지해 제조되는 소자의 품질을 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.


한경닷컴 정인지 기자 injee@hankyung.com