일본 히타치화성공업이 국내 반도체 장비업체인 케이씨텍을 상대로 텍사스주 오스틴서부지방법원에 15일 특허침해 소송을 제기했다.

히타치화성공업은 소장에서 케이씨텍이 반도체 평탄화 공정에 쓰이는 연마제인 'CMP슬러리' 특허를 무단 사용했다고 주장했다. 히타치화성 측은 "케이씨텍이 침해한 특허는 두 건"이라며 "케이씨텍과 작년 6월부터 특허침해와 관련한 협의를 진행했으나 합의점을 찾지 못했다"고 설명했다.