한국표준과학연구원(원장 강대임)은 국내 연구진이 마련한 기체 질량 측정센서인 사중극 질량분석에 대한 규격이 국제표준화기구 진공기술분야(ISO/TC 112) 국제표준으로 채택됐다고 13일 발표했다.

사중극 질량분석기(QMS)는 기체의 질량을 측정하는 고감도 센서로 반도체, 디스플레이 등 다양한 분야에 활용되고 있지만 센서 교정 등 과학적 요인들을 해결하지 못해 표준화에 어려움을 겪어 왔다.

국제표준화기구의 프로젝트 리더로 활동해온 김진태 표준연 진공기술센터 연구원 등은 분석기에서 사용하는 부품 및 용어에 대한 정의와 규격을 제시하고 세부적인 분석 방법들을 제시해 표준 채택을 이끌어냈다.

김태훈 기자 taehun@hankyung.com