테스는 플라즈마 발생 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 21일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허가 대기압과 같은 높은 압력에서도 안정적인 방전이 가능해 라디칼을 이용한 기판 처리 공정이 용이한 장점이 있다"며 "장비 제조시 특허기술을 적용할 계획"이라고 밝혔다.

한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com