나노엔텍=유체분석용 칩 관련 미국 특허권 취득.
로체시스템즈=중국 오르도스와 45억8000만원 규모 디스플레이 제조장치 공급 계약.
비아이이엠티=사파이어 클램핑 장치 등 특허 3개 취득.
▲씨에스=SK텔레콤과 광 중계기 공급 계약.
유진테크=SK하이닉스와 26억5000만원 규모 반도체 제조장비 공급 계약.