경기도 용인시에 위치한 삼성전자 기흥 반도체 사업장에서 불이 나 직원들이 대피하는 소동이 벌어졌다.

24일 소방당국과 삼성전자에 따르면 이날 오후 12시36분께 기흥 사업장 3라인(LED 라인) 공장 옥상 집진기에서 불이 나 직원들이 긴급 대피했다.

33명의 소방 인력과 펌프차 등 장비 14대가 출동했고 진화작업을 벌여 오후 1시께 불길을 잡았다.

불이 외부에서 발생해 다행히 인명피해는 없었고, 조업에도 차질이 없는 것으로 알려졌다.

보건환경연구원 대기화학팀 직원 2명이 굴뚝 중간지점에 '측정공'을 뚫어 그 안에 측정 스틱을 넣고 염화수소, 먼지 등을 측정하던 중이었다.

측정공을 밀폐하기 위해 헝겊으로 막고 샘플링을 하던 중 과열로 인해 헝겊에 불이 붙어 화재가 발생한 것으로 파악됐다.

3라인은 과거 6인치 반도체 웨이퍼를 생산하다, 현재는 발광다이오드(LED) 라인으로 전환된 곳이다.

삼성전자 관계자는 "정확한 사고경위와 피해규모 등을 파악하고 있는 중"이라고 말했다.

한경닷컴 권민경 기자 kyoung@hankyung.com