테스, 기판처리시스템 관련 특허 취득 입력2013.10.01 14:46 수정2013.10.01 14:46 기사 스크랩 공유 댓글 0 클린뷰 글자크기 조절 로그인 테스는 기판처리방법 및 기판처리시스템 관련 특허를 취득했다고 1일 공시했다.한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com 좋아요 싫어요 후속기사 원해요 관련 뉴스 1 개미들 줄줄이 죽 쑤는데…1년 수익률 '15%' 펀드 뭐길래 [양병훈의 해외주식 꿀팁] 2 [마켓칼럼] "트럼프 시대에도 재생에너지 투자는 유효하다" 3 1월 둘째 주, 마켓PRO 핫종목·주요 이슈 5분 완벽정리 [위클리 리뷰]