한국표준과학연구원은 엄대진 문창연 구자용 나노소재평가센터 연구원 등이 손톱보다 작은 1㎠ 면적에 테라바이트(TB) 용량의 데이터를 저장할 수 있는 비휘발성 메모리 원천기술을 개발했다고 22일 발표했다.

현재 사용하는 플래시 메모리 등은 전자의 이동이 많고 적음을 파악해 0, 1의 데이터를 구분하는 전자소자 기술을 이용한다. 전자소자를 더 작게 만드는 게 핵심 경쟁력인데 반도체 공정이 10㎚(나노미터·1㎚는 10억분의 1m) 이하까지 발전하면서 미세공정 기술 개발에 어려움을 겪고 있다.

연구팀은 기존 전자소자보다 표면적을 수천 배 줄일 수 있는 개별 원자에 0, 1의 신호를 쓰고 지울 수 있는 기술을 개발했다. 실리콘 웨이퍼에 일정량의 붕소(B)를 주입한 뒤 열처리하면 실리콘 표면의 원자 간 거리가 늘어난다.

김태훈 기자 taehun@hankyung.com