엘오티베큠, 27억 반도체 플라즈마 전처리시스템 등 공급계약
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엘오티베큠은 3일 삼성전자와 27억원 규모의 반도체 공정용 플라즈마 전처리시스템 및 건식진공펌프 공급계약을 맺었다고 공시했다. 계약기간은 올 연말까지다.
한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com
한경닷컴 정현영 기자 jhy@hankyung.com