테스, 반도체 장비 적용 기술 관련 특허권 취득
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회사 측은 "쉐도우 프레임을 상기 마스크 프레임의 상면과 동일 면상 또는 상기 마스크 프레임의 상면보다 아래에 위치하도록 배치해 가스공급부와 마스크 사이의 거리를 현저히 줄임으로써 종래에 비해 상대적으로 공정마진을 크게 할 수 있게 되어 플라즈마 밀도를 향상시키고 박막의 균일도를 개선할 수 있다"고 설명했다.
이소은 한경닷컴 기자 luckysso@hankyung.com